1、無(wú)塵潔凈室是指為消除一定空間內(nèi)空氣中的顆粒、細(xì)菌等污染物，將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度及分布、噪聲振動(dòng)、照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi)而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)建造的無(wú)塵潔凈室。

　　

　　2、潔凈室原則。潔凈室是一種使用HEPA和空氣凈化設(shè)備，其塵埃的收集率在99.97~99.99995%，所以用這種過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可以說(shuō)是非常干凈的。但是潔凈室除了人，還有機(jī)器等塵源。一旦這些產(chǎn)生的灰塵擴(kuò)散，就不可能保持一個(gè)干凈的空間。因此，有必要利用氣流將產(chǎn)生的灰塵快速排出室外。

　　

　　3、潔凈室的三個(gè)灰塵。潔凈室有三個(gè)原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。空氣淋浴房作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制灰塵的最佳凈化設(shè)備之一，可以最大限度地減少員工進(jìn)出潔凈室?guī)?lái)的污染問(wèn)題。淋浴房的兩個(gè)門(mén)是電子聯(lián)鎖的，也可以作為氣閘室，防止外界污染和未凈化的空氣進(jìn)入無(wú)塵潔凈區(qū)，達(dá)到生產(chǎn)車(chē)間所需的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。

　　

　　4、潔凈室最重要的作用是控制潔凈度日和產(chǎn)品(如硅片等)所在大氣的溫濕度。讓產(chǎn)品在良好的環(huán)境空間里生產(chǎn)制造，我們稱(chēng)之為潔凈室。根據(jù)國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化水平主要是根據(jù)每立方米空氣中直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)定義的。也就是說(shuō)，無(wú)塵不是100%無(wú)塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合塵埃標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的塵埃來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)塵埃都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以無(wú)塵是光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)中的必然要求。

　　

　　將粒徑小于0.5微米的粉塵數(shù)量控制在每立方米3500以下，達(dá)到國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)A級(jí)。目前芯片級(jí)生產(chǎn)加工應(yīng)用的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求比A級(jí)高，這樣高的標(biāo)準(zhǔn)主要用于一些高等級(jí)的芯片生產(chǎn)。粉塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000以?xún)?nèi)，也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)。